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Evaluation and Characterization of High-Uniformity SiNx Thin Film with Controllable Refractive Index by Home-Made Cat-CVD Based on Orthogonal Experiments

2025-03-26 　来自: 南昌大学 李财芳 浏览次数:647

Evaluation and Characterization of High-Uniformity SiNx Thin Film with Controllable Refractive Index by Home-Made Cat-CVD Based on Orthogonal Experiments

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